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          • 商品名稱: C/C復合材料大型沉積爐
          • 商品編號: 0001

          C/C復合材料大型沉積爐

           用途:

           可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVDCVI處理。

           

             特點

          采用先進的控制技術,能精密控制氣體的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍小;

          采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 

          采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

          對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;

          采用防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;

          化學氣相沉積爐主要配置

          結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

          爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

          爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

          爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈

          加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

          工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

          真空泵和真空計---進口/國產

          人機界面:觸摸屏/工控機

          電器元件:正泰/施耐德/西門子

           

           

          參數\型號

          XR-CJL-Φ11200

          XR-CJL-Φ15200

          XR-CJL-Φ26320

          XR-CJL-Φ33200

          容積(L)

          1900

          3534

          16989

          17105

          最高溫度(℃)

          1500

          1500

          1500

          1500

          工作區尺寸D×H(mm)

          Φ1100×2000

          Φ1500×2000

          Φ2600×3200

          Φ3300×2000

          控溫方式

          日本島電溫控儀

          加熱方式

          電阻加熱/感應加熱

          真空系統

          抗污泵

          燒結氣氛

          碳氫氣體等

          額定電源電壓(V)

          380

          額定加熱電壓(V)

          根據設計確定,配置爐前變壓器

          極限真空度(Pa)

          1-100(真空冷態)

           

           

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